1、半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的潔凈生產(chǎn)區(qū)

潔凈生產(chǎn)區(qū)的氣體潔凈室等級(jí)需根據(jù)商品生產(chǎn)工藝流程的規(guī)定來(lái)明確，這是潔凈工程建筑廠房設(shè)計(jì)的關(guān)鍵依據(jù)，客戶除了出示基本的施工工程圖紙外，還應(yīng)出示所生產(chǎn)制造商品的各種各樣設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，如溫度、濕度、氣旋流形要求，生產(chǎn)所需原輔材料特性及水、電、氣要求等。

2、機(jī)器設(shè)備區(qū)

即空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件、公用電廠等，是潔凈廠房的關(guān)鍵組成部分。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)中，空調(diào)凈化機(jī)器設(shè)備、制冷供暖應(yīng)布置在凈化車(chē)間內(nèi)，便于管理，減少管道長(zhǎng)度。

3、潔凈輔助間

這是半導(dǎo)體潔凈車(chē)間不可或缺的房間，房間的氣體潔凈室等級(jí)除開(kāi)按顧客規(guī)定開(kāi)展設(shè)計(jì)外，均按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的要求設(shè)計(jì)。

4、管理區(qū)

這是半導(dǎo)體潔凈車(chē)間內(nèi)的商品加工過(guò)程的企業(yè)生產(chǎn)管理、技術(shù)水平的管理和必需的實(shí)際操作工作人員的管理區(qū)域。